ดูเหมือนว่าจะมีความกังวลใจมากมายเกี่ยวกับระบบสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) ในโลกที่หาได้ยาก การทำงานที่ความดัน 10 –7 Pa และต่ำกว่า UHV มอบเทคโนโลยีแกนกลางสำหรับการศึกษาวิทยาศาสตร์พื้นผิวทุกรูปแบบที่อาศัยการทำงานร่วมกันของโฟตอน อิเล็กตรอน หรือลำแสงไอออนในการตรวจสอบคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีของพื้นผิวตัวอย่าง ในหมู่พวกเขา เอ็กซ์เรย์โฟโตอิเล็กตรอน
สเปกโทรสโกปี
(XPS), การเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอนพลังงานต่ำ (LEED) และแมสสเปกโตรสโคปีไอออนทุติยภูมิ (SIMS) ในขณะเดียวกัน สภาวะของ UHV ทำให้มั่นใจได้ว่านักวิจัยสามารถศึกษาพื้นผิวตัวอย่างที่สะอาดทางเคมีโดยปราศจากสารดูดซับที่ไม่ต้องการ ซึ่งเป็นข้อกำหนดที่จำเป็นสำหรับการเจริญเติบโต
ของฟิล์มบางและเทคนิคการเตรียม เช่น การทำ epitaxy ของลำแสงโมเลกุล (MBE) และไอทางกายภาพของ UHV การสะสม (PVD)ภายในสภาพแวดล้อม UHV การจัดการเชิงกล การวางตำแหน่ง และการเตรียมตัวอย่างแสดงถึงความท้าทายทางวิศวกรรมที่ซับซ้อน โดยทั่วไปแล้วต้องมีขั้นตอน
การวิเคราะห์ที่สามารถให้การรวมกันของการเคลื่อนที่เชิงเส้นที่แม่นยำตามแกนสามแกน ( xyz ) รวมทั้งการหมุนรอบหนึ่งหรือสองแกน แกน (ขั้วโลกและแนวราบ) ประเด็นสำคัญคือตระกูล ของขั้นตอนการวิเคราะห์จากUHV Designผู้พัฒนาผลิตภัณฑ์การเคลื่อนที่และความร้อน UHV ผู้เชี่ยวชาญ
ในสหราชอาณาจักร ขั้นตอนที่กำหนดค่าได้เหล่านี้ทำให้ผู้ใช้ทางวิทยาศาสตร์มีแกนการเคลื่อนไหวสูงสุด 5 แกนพร้อมกับตัวเลือกสำหรับการควบคุมและการทดสอบตัวอย่างเพิ่มเติม รวมถึงมอเตอร์ การวัดอุณหภูมิ ความสามารถในการใช้แรงดันไฟฟ้า (การให้น้ำหนักตัวอย่าง) การให้ความร้อนถึง 1200 °C
และไนโตรเจนเหลว หรือการระบายความร้อนด้วยฮีเลียมเหลวการใช้งาน ครอบคลุมการวิจัยพื้นฐานด้านวัสดุศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งที่พื้นผิว ตลอดจนการพัฒนากระบวนการฟิล์มบางและการควบคุมคุณภาพนิค คลาร์ก, การออกแบบ UHV ด้วยเหตุนี้ จึงเป็นองค์ประกอบสำคัญของเทคนิคการทดลอง
เชิงวิเคราะห์
สำหรับการวิเคราะห์ทางเคมีและโครงสร้างในด้านการผลิตฟิล์มบาง วิทยาศาสตร์เซมิคอนดักเตอร์ การเร่งปฏิกิริยาและนาโนเทคโนโลยี และอื่นๆ “การใช้งาน ครอบคลุมการวิจัยพื้นฐานด้านวัสดุศาสตร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งที่พื้นผิว ตลอดจนการพัฒนากระบวนการฟิล์มบางและการควบคุมคุณภาพ”
หัวหน้านักวิทยาศาสตร์ อธิบาย “ขั้นตอนและอุปกรณ์เสริมที่เกี่ยวข้องเป็นโซลูชันที่สมบูรณ์สำหรับการจัดการและถ่ายโอนตัวอย่าง ตลอดจนการเตรียมการก่อนการวิเคราะห์ ซึ่งรวมถึงการกำจัดสิ่งปนเปื้อนบนพื้นผิว การตกผลึก และการสะสมตัวของฟิล์มบาง” เวทีกลางกลุ่มผลิตภัณฑ์ ประกอบด้วยสายผลิตภัณฑ์
หลัก 2 สาย ได้แก่ ซีรีส์ XL-T สำหรับใช้งานทั่วไป แท่นสูบลมเดี่ยวขนาดกะทัดรัดที่ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับห้องวิทยาศาสตร์พื้นผิวที่มีพื้นที่จำกัด และ XL-R ซีรีส์ แท่นสูบลมคู่พร้อมฐานรองรับเพลารองและ ระยะแกน zเคลื่อนที่ได้ถึง 1,000 มม. ซึ่งเป็นข้อกำหนดระดับไฮเอนด์
สำหรับการวิเคราะห์พื้นผิวและการใช้งานสถานีปลายทางซินโครตรอนที่ต้องการการเดินทางที่ยาวนานขึ้นและเสถียรภาพที่เพิ่มขึ้นคุณสมบัติหลักประการหนึ่งของสเตจ คือการขับเคลื่อนแกนการเคลื่อนที่ใดแกนหนึ่งหรือทั้งหมด โดยเน้นที่การประกอบและถอดประกอบมอเตอร์ที่ใช้งานง่าย
“มอเตอร์ของเรามีความประณีต กะทัดรัด และถอดง่าย เป็นข้อได้เปรียบอย่างมากเมื่อพูดถึงการอบและการบำรุงรักษาห้อง UHV และระบบย่อย” คลาร์กอธิบาย วิธีการใช้มอเตอร์ยังมีบทบาทในด้านความสมบูรณ์ของสุญญากาศและความน่าเชื่อถือทางกลเข้าสู่ระยะสี่และห้าแกน ซึ่งแกนขั้วโลก
และแกนแอซิมัททัล
ของการหมุนใช้ประโยชน์จากไดรฟ์คู่แม่เหล็ก “การใช้ไดรฟ์คู่แม่เหล็กมีความน่าเชื่อถือโดยพื้นฐานมากกว่า เพราะคุณไม่ต้องบิดเบลโลว์ไปรอบ ๆ เพื่อให้คุณหมุน” คลาร์กกล่าวเสริม “ในท้ายที่สุด นั่นหมายถึงโอกาสที่สูญญากาศจะรั่วน้อยลง ในขณะที่ส่วนประกอบของไดรฟ์มีแนวโน้ม
ที่จะเกิดความเสียหายทางกลน้อยลง”การมุ่งเน้นที่การออกแบบผลิตภัณฑ์ที่เป็นมิตรต่อผู้ใช้เป็นรากฐานของข้อเสนอตัวอย่างเช่น การออกแบบเวทีแบบดั้งเดิมจำนวนมากกำหนดให้มีการขดรอบเพลา สิ่งนี้จะเพิ่มรัศมีการกวาดของเวที สร้างพื้นที่ที่อาจติดขัด และหลังจากผ่านไปหลายรอบ
ท่อระบายความร้อนจะอ่อนล้าจนถึงจุดที่ล้มเหลว ในทางตรงกันข้าม ซีรีส์ XL-T ใช้กระบอกสูบขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 65 มม. เพื่อกำหนดเส้นทางบริการทั้งหมด รวมถึงคอยล์เย็นไนโตรเจนเหลว เพื่อให้ได้การออกแบบที่กะทัดรัดและไม่เกะกะในขั้นตอนตัวอย่าง“การกำหนดค่า XL-T ช่วยลดรัศมี
การกวาดลงได้อย่างมากและขจัดความเครียดในการวนรอบของระบบทำความเย็น ในขณะที่เพิ่มพื้นที่ว่างสำหรับแหล่งที่มาและเครื่องตรวจจับเพื่อเข้าใกล้ตัวอย่างในห้องแบบหลายเทคนิค” วิศวกรออกแบบเครื่องกลอาวุโสของ UHV กล่าว ออกแบบ. “ยิ่งไปกว่านั้น ตัวเลือกในการขยายฟังก์ชันการทำงาน
เมื่อจำเป็น เช่น การเพิ่มระยะการจอดตัวอย่างเพิ่มเติม มอบเส้นทางเศรษฐกิจเพื่อพิสูจน์การซื้อของคุณในอนาคต”ของร้อนสำหรับผู้ใช้ปลายทาง “ความสามารถในการปรับขยายตามการออกแบบ” นี้ให้ผลตอบแทนที่สำคัญ ลูกค้าสามารถเลือกการกำหนดค่า แบบสี่แกนสำหรับการหมุนแบบโพลาร์เท่านั้น
หรือระบบแบบห้าแกนหากต้องการการหมุนในแนวราบ เช่นเดียวกับบริการทำความร้อนและความเย็น หากต้องการให้ความร้อนแก่ตัวอย่าง มีตัวเลือกสำหรับการให้ความร้อนแบบต้านทาน (ถึง 900 °C) และการให้ความร้อนด้วยลำแสงไฟฟ้า (ถึง 1200 °C) แบบแรกใช้ฮีตเตอร์แทนทาลัมฟอยล์ที่รองรับตัวเอง (สำหรับการปล่อยก๊าซขั้นต่ำและอัตราส่วนความร้อนสูงต่อพื้นที่ผิวเปิดเพื่อให้แน่ใจว่าฮีตเตอร์
แนะนำ 666slotclub / hob66
